Linear Stage
Accuracy
- (117)
Category
- (117)
Stroke [mm]
- (16)
- (10)
- (12)
- (4)
- (22)
- (4)
- (18)
- (9)
- (7)
- (7)
- (4)
- (4)
Guiding Mechanism
- (20)
- (97)
Axis
- (75)
- (42)
max. Speed [mm/s]
- (20)
- (12)
- (34)
- (51)
Table Size [mm]
- (8)
- (27)
- (35)
- (2)
- (36)
- (1)
- (4)
- (4)
Positioning Precision
- (96)
- (13)
- (8)
Material
- (20)
- (12)
- (85)
Pitch [mm]
- (66)
- (51)
Parallelism [µm]
- (30)
- (67)
- (20)
Dynamic Parallelism [µm]
- (12)
- (83)
- (7)
- (11)
- (4)
Type
- (20)
- (42)
- (26)
- (17)
- (12)