Linear Stage
Accuracy
- (236)
Category
- (236)
Stroke [mm]
- (5)
- (22)
- (42)
- (9)
- (61)
- (3)
- (45)
- (9)
- (12)
- (12)
- (8)
- (8)
Guiding Mechanism
- (39)
- (197)
Axis
- (101)
- (52)
- (26)
- (26)
- (31)
max. Speed [mm/s]
- (39)
- (79)
- (98)
- (20)
Table Size [mm]
- (5)
- (57)
- (74)
- (3)
- (77)
- (2)
- (9)
- (9)
Positioning Precision
- (145)
- (43)
- (14)
- (16)
- (18)
Material
- (33)
- (6)
- (197)
Pitch [mm]
- (118)
- (98)
- (20)
Parallelism [µm]
- (62)
- (174)
Dynamic Parallelism [µm]
- (15)
- (193)
- (12)
- (16)
Type
- (8)
- (15)
- (10)
- (6)
- (98)
- (59)
- (40)